El recobriment al buit allarga la vida útil dels consumibles a la indústria dels semiconductors i redueix el temps d'inactivitat de la cambra.Els materials de recobriment van des de sílice fosa fins a zirconi estabilitzat amb itria, i els recobriments són òpticament clars i químicament inerts.Tot això significa un menor cost de propietat mitjançant la sincronització dels cicles de manteniment.
Hora de publicació: 16-juny-2022